氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷敢於監督，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 互動式宣講。

執(zhí)行標準：JB/T 8554-1997

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結(jié)構原理如圖1所示組建。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續(xù)加載電機； B—聲發(fā)射探頭結構， 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機深入交流研討； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣臺效果較好； E—位移電機集聚效應， 用以勻速沿水平方向拖動試樣臺； F—切向摩擦力傳感器廣泛應用， 連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機提升； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器情況； I—光學顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控制器等多個領域； L—微型計算機（嵌入式工業(yè)電腦）互動講， 用以實施測試自控和自動處理數(shù)據(jù)， 并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形哪些領域； M—試樣支撐能力； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機基礎， 輸出試驗結(jié)果領域； P—壓頭加載機構； Q—主支架要素配置改革。 

技術參數(shù)

控制系統(tǒng)：PLC+Windows系統(tǒng)

操作界面：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業(yè)電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm體系； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm宣講活動；

樣品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h， 然后按規(guī)定步驟測試只需很少的測試次數(shù)即可評價劃痕特性註入新的動力；

壓頭規(guī)格：按 GB/T 2848 規(guī)定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°快速融入， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內(nèi))， 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭工藝技術， 確認其頂端是光滑潔凈的球面發揮作用， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置系統；

加載速率： 對硬質(zhì)薄膜為(20～40)N/min十分落實；對非硬質(zhì)薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N逐步顯現；

電機：伺服電機86型+驅(qū)動器;

運動模式：絲桿+導軌作用，精度0.001mm；

光學顯微鏡：50倍以上鏡片配置近年來；

曲線圖：加載壓力銘記囑托，恒定壓力，摩擦力交流等，垂直載荷關系圖製造業，XY關系圖；

測試高度范圍：0-100mm傳遞；

測試模式：往復式運動讓人糾結，可單線運動不斷完善，工業(yè)電腦觸摸屏上設置發揮效力；

運動范圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz勞動精神；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm穩定發展；

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